摘要:与传统洛伦兹线形相比,具有不对称线形的 Fano 共振光谱有更高的光谱分辨率,尤其适合传感应用。 通过在硅基总线 波导与跑道微环谐振腔耦合区域引入两个空气孔使得连续光谱产生突变相移,并与跑道微环谐振腔耦合形成 Fano 共振,且在 较宽谱段范围内的每个共振峰都表现为非对称线形。 通过仿真优化耦合间距以及空气孔与耦合区域中心的偏移量,获得最大 光谱分辨率为 312. 05 dB/ nm, 消光比为 53. 09 dB 的硅基 Fano 共振器件。 在模仿被液体的折射率变化范围为 1. 33 ~ 1. 332 的 条件下,仿真得到折射率传感灵敏度为 125 nm/ RIU。 仿真结果表明本论文提出的器件结构简单,尺寸紧凑且制造误差小,为硅 光子器件应用到高灵度敏度的集成生化传感提供新思路。