摘要:针对现有谐振式磁传感器原理不能同时实现高品质因数(Q)和低功耗的缺点,利用双端固定石英音叉谐振器与铁镓磁 致伸缩合金片复合,设计了一种隔离磁机阻尼的高 Q 值、数字频率输出的超低功耗谐振式磁传感器。 利用音叉谐振器结构的 解耦特性,设计应力耦合传递结构,隔离了磁致伸缩材料磁机阻尼,从而保证复合传感器 Q 值与音叉谐振器 Q 值相当。 在磁场 作用下,磁致伸缩力传递到音叉谐振器,由于音叉力敏感特性,实现磁-力-频率转换。 制备了铁镓合金/ 石英音叉谐振器复合敏 感结构,测试表明:在低气压封装条件下的品质因数约为 16 764,门振荡电路功耗约为 124. 8 μW,在线性区灵敏度为 3. 05 Hz/ Oe,分辨率为 6 mOe。